在真空技術中,把低于一(yi)個大氣(qi)(qi)壓的(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)狀況,統稱為(wei)真空。與(yu)正常的(de)(de)大氣(qi)(qi)相比,這是一(yi)種較稀薄的(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)狀況。
現在,我國將真空(kong)(kong)區(qu)域劃分(fen)為(wei):低真空(kong)(kong)、中真空(kong)(kong)、高真空(kong)(kong)和超(chao)高真空(kong)(kong)。各真空(kong)(kong)區(qu)域所(suo)對應的真空(kong)(kong)值(zhi)分(fen)別為(wei):
低 真 空:105 ~102 Pa (760~1 Torr)
中 真 空:102 ~10-1 Pa (1~10-3 Torr)
高(gao) 真 空:10-1~10-5 Pa (10-3~10-7 Torr)
超高真空: ≤10-5 Pa (≤10-7 Torr)
要到(dao)達(da)真空狀況有專(zhuan)用的(de)(de)“抽(chou)真空的(de)(de)技(ji)術裝備"抽(chou)掉(diao)工件周圍(wei)的(de)(de)空氣。在適當沖(chong)入空氣或氮氣等來到(dao)達(da)可控氣氛,實現不同真空度的(de)(de)操控。
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